设备用途：

立式多级联排CVD设备是采用化学气相沉积（CVD）工艺向钨丝表面沉积碳化硅（SiC）涂层及碳涂层，从而制备得到连续单丝SiC纤维。

设备特点：

1）CVD纤维输送系统是将钨丝通过放丝机构输出，经化学工艺处理后，由收丝机构紧密的收集到收丝盘上，并在各层之间自动铺放隔离纸带；

2）采用主动放丝方式，保证放丝的恒张力控制；

3）采用主动收丝方式，保证恒线速度收丝；

4）具有丝径动态监测装置可实现丝材电压、直径在线测量，具有反馈自调节功能。其主要负责在线测量CVD制备得到的SiC纤维丝材直径，并将直径尺寸的变化量反馈至控制系统中，实时反馈至丝材直流加热模块，自动调节加载在丝材上的直流电电压，从而调节CVD反应的速率，实现SiC纤维丝涂层厚度的自动化稳定控制。

5）具有放丝位置自动对正功能，控制原料轮边放丝边移动，确保放出的钨丝实时对准机柜上方所开的微孔。

6）具有自动衬纸功能，可实现在收丝盘每收满一层SiC纤维后，无需影响收卷动作（即收丝线速度维持不变）的情况下，为收丝盘自动衬上一层已裁切好的隔离纸带的功能，以确保相邻丝层间的卷绕收纳相互隔离互不影响。

7）丝材直流加热模块采用双输出高压直流电源，可实现对沉积管内两个不同分区的丝材独立进行直流电加热。